???? GaN-on-Si 的优势
类别 | 优势说明 |
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成本 | 硅基片便宜,尺寸大(可达8英寸、12英寸),比 GaN-on-SiC 或 GaN-on-sapphire 成本低 3~10 倍 |
工艺兼容性 | 可与现有 CMOS 工艺兼容,有利于与硅IC系统集成 |
大尺寸晶圆 | 易于扩产、提高良率、适合自动化量产 |
热性能 | Si 导热性较好(150 W/mK),比蓝宝石强,但低于 SiC |
应用广泛 | 快充、电源转换器、电动汽车、数据中心、服务器等领域广泛应用 |
???? GaN-on-Si vs 其他 GaN 衬底方案
指标 | GaN-on-Si | GaN-on-SiC(碳化硅) | GaN-on-Sapphire(蓝宝石) |
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成本 | (最低) | (高) | (中) |
散热性 | (最优) | ||
工艺兼容性 | |||
频率/功率表现 | 中高 | 高 | 低中 |
主流应用 | 电源、快充、消费电子 | 高端RF(雷达、卫星)、军用 | 早期照明/LED |
???? 技术挑战
虽然 GaN-on-Si 成本低,但也存在以下技术挑战:问题 | 说明 |
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晶格失配 | GaN 与 Si 晶格常数差异较大(17%),易产生应力和位错,影响器件可靠性 |
热膨胀系数不匹配 | 导致晶圆翘曲或裂片,需要复杂的缓冲层设计(如AlGaN缓冲层) |
漏电控制 | GaN-on-Si 容易出现栅极漏电,需要优化外延结构和终端处理 |
边缘终端设计复杂 | 高压器件要求更好的场控设计,避免击穿或电击穿通道 |

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